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打破国外技术垄断光刻机核心部件中科院5nm技术小试牛刀

阅读量: 1619次 发布时间:2023-12-17 12:38:06

  荷兰的阿斯麦公司曾自大的说道,在这样一个世界上,除了自家的EUV光刻机,想要实现7纳米以下的芯片工艺,根本不可能。但中科院用行为和成绩,狠狠地打了阿斯麦一个“耳光”。

  我是小小王,90后科技爱好者,今天给大家换一下胃口,讲一讲中科院的5纳米激光雕刻技术,以及光刻机的核心配件“掩膜版”。

  中科院采用自研的5纳米激光雕刻技术,成功突破国外技术垄断,研发生产出一片具有5纳米工艺的掩膜版。可别小瞧这项突破,掩膜版是光刻机运转的必要配件,如果没有掩膜版,那么光刻机就无法制造芯片。

  什么是掩膜版呢?从外表来看,掩膜版就是一块毫不起眼的“玻璃”。从制程来看,掩膜版是石英玻璃通过感光金属涂刷等一系列工序制成的膜片。从用途来看;掩膜版在芯片生产中,起到了“底片”的作用。简单来说,掩膜版就像是练字的“描字帖”一样,通过已规划设计好的纹路,对芯片进行纹刻、印制,也就是我们常说的“照着葫芦画瓢”。掩膜版对我们来说有多重要呢?

  与芯片进口一样,由于技术不足,我们的掩膜版都是依赖国外进口。一块好的掩膜版价格达到十几万美元,由于早先我们生产不出掩膜版,一些国外企业故意不卖给我们,或者将价位提的很高。在没有EUV光刻机的前提下,中科院仍然生产出5纳米工艺的掩膜版,属实不易。以阿斯麦的角度来看,这几乎是一件不可能完成的事情。

  更重要的一点,中科院采用的是自研的5纳米激光雕刻技术。不包含一丝的国外技术,因此,即便是国外想要进行阻拦,也特别难找到把柄。不过必须要格外注意的是,中科院的5纳米技术,只是用于特殊生产,例如这次的掩膜版。换句话说,该项技术并不可以应用到芯片生产中。为什么呢?

  首先是效率,不同于EUV光刻机的极紫外光生产,激光雕刻是采取了激光对芯片进行雕刻。因此在时间和效率上,采取了激光雕刻都十分的“不划算”。另外是成本,激光生产的成本很高,若用于芯片生产中,高强度的“工作制度”势必会导致设备的损耗,高昂的维修费是很多企业难以承受的。

  不过说到芯片生产,在这里穿插一个很有意思的小插曲。在中科院宣布5纳米激光雕刻技术时,被很多人误解为,中科院已经突破了光刻机壁垒。在一段时间内,这个误解在网上疯狂宣传。为减少人们对该消息的误解,中科院又发布了一则有关该消息的解释。该项技术并不意味着着我们已不需要光刻机,我们目前仍然需要光刻机。

  与传统设备不一样,光刻机制程繁琐、技术方面的要求高;即便是一个小部件,也包含着许多技术。由于忽略了光刻机的重要性,我们和国外相比晚起步十几年,因此在技术和工艺上,我们仍处于劣势地位。

  现如今,我们的光刻机还停留在180纳米的工艺水平。想要真正的完成光刻机反超,目前来看,还需要很长的时间。但不管怎么说,中科院成功打破国外封锁,推出掩膜版,加快了我国半导体领域的脚步,也为更多的半导体厂商加油、打气。

  此外,不只是掩膜版,中科院成功突破的石墨烯芯片,也为今后我们在芯片领域中实现变道超车提供了可能。不只是中科院,其它厂商也是好消息不断。例如南大光电突破的光刻胶、黄河水电实现电子级多晶硅量产、新美光突破的芯片级单晶硅硅棒。这些都加快了我国实现芯片自主化的脚步。

  “逢敌必亮剑”面对国外的不断打压、封锁,我国的半导体厂商用自己的行为告诉国外“那些打不倒我们的,终究都会让我们变得强大”。

  对于中科院突破的掩膜版壁垒,大家还有什么想说的呢?如果有,欢迎在下面进行留言评论。我是小小王,90后原创作者,关注我,带你了解更多资讯,学习更多知识。

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